A vákuumszelep kulcsfontosságú eszköz a folyadékszabályozáshoz vákuum környezetben a precíziós tömítés és a hajtásvezérlés révén. Munka mechanizmusa felosztható a következő alapmodulokra:
1. alapvető munka mechanizmus
A partíció megítélése
Az összes fém ferde dinamikus pecséttel (a hagyományos csomagolás helyett) elfogadásakor a fújtató kibővül és összehúzódik, amikor a szelep szár a vákuumkamra léghajósságának fenntartása érdekében mozog, és a szivárgási sebesség kevesebb, mint 1 × 10⁻¹⁰ pa · m³/s.
A kapu bezárásakor molekuláris illeszkedést képez a tükörrel csiszolt szelep üléssel (RA kevesebb vagy egyenlő 0,2 μm), és együttműködik a réz-ötvözet tömítőgyűrűjével, hogy javítsa az érintkezés tömítés hatását.
Drive Control
Manual Type: Worm Gear sebességváltó, a fújtatókat felfelé és lefelé hajtják a kézikerék forgatásával, és a nyomaték kevesebb vagy egyenlő, mint 15N · m4.
Elektromos típus: léptetőmotoros meghajtó, 0,01 mm -es pozicionálási pontosság, amely alkalmas félvezető ostyaátviteli rendszerre.
Pneumatikus típus: A sűrített levegő meghajtja a henger dugattyút, a válaszidő az<1s, and it is used for emergency isolation of spacecraft vacuum chambers.
Nyomás egyenlege
A szeleptest KF16 segéd levegő extraháló portjával van felszerelve. A kinyitás és a bezárás előtt egy független vákuumszivattyút használnak a szelepüreg és a rendszer (ΔP ＜ 10Pa) közötti nyomáskülönbség kiegyensúlyozására a légáram zavarának megakadályozására.
2. Tipikus munkamód
| Mód | Működési folyamat | Alkalmazás |
|---|---|---|
| | A kapu teljesen megnyomja a szelep ülését, hogy dupla tömítést képezzen (Bellows + érintkező felület) | Részecske gyorsító gerendacső izolálása |
| Áramlási szabályozás | A szeleplemez nyílását 10%-90%-on szabályozzuk, és a lineáris áramlásvezérlés a V alakú fojtószelepen keresztül érhető el | Gázbefecskendezés vákuumbevonat -eljáráshoz |
| Gyors vágás | A pneumatikus szelepmozgató vészhelyzeti leállási eljárást kivált, a válaszidő kevesebb vagy egyenlő 0,3 s | Nukleáris fúziós eszköz szivárgási vészhelyzet |
| Nyomáskarbantartás | A vákuummérőhöz kapcsolódik, és a szelepnyílás automatikusan finoman hangolódik, hogy fenntartsa a beállított vákuumfokot (± 0,5Pa) | Űrkörnyezet -szimulációs kamra |
3. Anyag- és folyamatjellemzők
Kelve Body: 316L ultra-alacsony szén rozsdamentes acél elektrolitikus polírozás, a gáz adszorpciós felületének több mint 60% -kal történő csökkentésével
Komponensek mérlegelése: Hastelloy C-276 ferde (100 000 fáradtsági ciklus ellenálló) + oxigénmentes réz tömítőgyűrű (Vickers Hardness HV80)
Turface -kezelés: A felszíni ion -porlasztó titán -bevonás (vastagság 2 μm), a súrlódási együttható 0,08 -ra csökkent.
4. Alkalmazási forgatókönyv összehasonlítás
| Mező | Szeleptípus | Vákuumkövetelmény | Speciális igények |
|---|---|---|---|
| Félvezető gyártás | Elektromos nagy vákuumszelep | Kevesebb vagy egyenlő, mint 1 × 10⁻⁷ pa | Ellenálló a 150 fokos sütéshez, nulla részecske -felszabadulás |
| Űrhajó -tesztelés | Pneumatikus gyors zárószelep | Kevesebb vagy egyenlő, mint 1 × 10⁻⁵ pa | Rezgési ellenállás (20-2000Hz) |
| Szinkrotron sugárforrás | Folyadékhűtéses kapuszelep | Kevesebb vagy egyenlő, mint 1 × 10⁻⁹ pa | Folyékony nitrogénhűtő kabát (-196 fok) |
| Nukleáris fúziós eszköz | Sugárzási ellenálló elszigetelő szelep | Kevesebb vagy egyenlő, mint 1 × 10⁻⁴ pa | Neutron besugárzási ellenállás (10¹⁹ N/cm²) |
5. Teljesítménykorlát -paraméterek
Hőmérsékleti tartomány: -269 fok (folyékony héliumhűtés típusa) 450 fokig (magas hőmérsékletű ötvözet típus)
Átmérő tartomány: φ6mm mikroszelep és nagy vákuumkamra szelep φ1200 mm
Életindex: A Bellows Seal összeszerelés nagyobb vagy azzal egyenlő, vagy azzal egyenlő, hogy 50 000 nyitási és záró ciklus